酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル
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酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル | |
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1-Methoxy-2-propanyl acetate | |
別称 PGMEA; 1-Methoxy-2-propanol acetate | |
識別情報 | |
CAS登録番号 | 108-65-6 |
PubChem | 7946 |
ChemSpider | 7658 |
UNII | PA7O2U6S2Q |
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特性 | |
化学式 | C6H12O3 |
モル質量 | 132.16 g mol−1 |
危険性 | |
Hフレーズ | H226, H360, H402 |
NFPA 704 | |
引火点 | 43 °C (109 °F; 316 K) |
発火点 | 333 °C (631 °F; 606 K) |
特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 |
酢酸2-メトキシ-1-メチルエチル(Propylene glycol methyl ether acetate, PGMEA)は、インク、コーティング、クリーナー等に用いられるP型のグリコールエーテルである。ダウ・ケミカルからDowanol PMA[2]、シェル・ケミカルからmethyl proxitol acetateの名前で[3][4]販売されている。
半導体業界では、ウェハーのビス(トリメチルシリル)アミンのような表面接着剤の用途で、溶剤としてよく用いられている[5]。また、揮発しやすいため、半導体のクリーンルーム等では大気経由でコンタミネーションしやすい分子である[6]。
出典
[編集]- ^ GOV, NOAA Office of Response and Restoration, US. “PROPYLENE GLYCOL METHYL ETHER ACETATE - CAMEO Chemicals - NOAA”. 2016年7月9日閲覧。
- ^ http://www.dow.com/scripts/litorder.asp?filepath=oxysolvents/pdfs/noreg/110-00588.pdf
- ^ http://s00.static-shell.com/content/dam/shell/static/chemicals/downloads/responsible-energy/methylproxitol-pgmemethylproxitolacetatepgmeaproductstewardships.pdf
- ^ “Methyl PROXITOL”. 2016年7月9日閲覧。
- ^ “HMDS primer (hexamethyldisilazane), DEATS and PGMEA”. 2016年7月9日閲覧。
- ^ http://www.balazs.com/file/otherelement/pj/1_amc_guidelines_rev2.34642.pdf