エピ
エピ
- 化学物質の命名法で使用される接頭辞（エピ (化学)）
- Epitaxy（エピタキシー）、またはEpitaxial（エピタキシャル）の略として、基板上に薄膜を製造する工程（エピタキシャル成長）、または基板上に成長した薄膜そのものを指すことがある。エピを形成させたウェハーは半導体素子を製造するうえで重要な素材であり、基板上に金属酸化物薄膜を成長させたMOエピや単結晶シリコン薄膜のSOIエピ (Silicon on Insulator) などが製造されている。
- 穂。フランス語で épi 。
- EPI、Epi、epiのこと。EPIを参照。
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