ファイル:Extreme ultraviolet lithography tool.jpg
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現在の版 | 2011年9月22日 (木) 18:19 | 713 × 605 (80キロバイト) | Bomazi | {{Information |Description ={{en|1=EUVL tool, that deposits virtually defect-free, ultra-thin films on integrated circuits.}} |Source =''Laser Programs, the first 25 years, 1972-1997'', available from [http://www.osti.gov/bridge/product.biblio. |
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