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偏光解析法

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』
エリプソメトリーから転送)

偏光解析法またはエリプソメトリー(ellipsometry)とは偏光を利用した分析手法。

概要

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光を透過しない金属等の光学定数(屈折率と消衰係数)を測定する手法として1887年にパウル・ドルーデによって考案された[1]

測定原理

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偏光が試料で反射される際に生じる偏光状態の変化からその試料の光学定数を決定する[2]

脚注

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  1. ^ Drude, Paul. "Ueber die Gesetze der Reflexion und Brechung des Lichtes an der Grenze absorbirender Krystalle." Annalen der Physik 268.12 (1887): 584-625.
  2. ^ 川畑州一「偏光解析法の基礎と応用」『表面科学』第35巻第6号、日本表面科学会、2014年、286-293頁、doi:10.1380/jsssj.35.286ISSN 0388-5321NAID 130004718844 

参考文献

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外部リンク

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